碳碳导流筒

  • 产品介绍
  • 理化指标

▶ 应用范围

太阳能和半导体行业的单晶硅炉热场系统。


产品用途

主要用于控制热场的轴向温度梯度和引导氯气气流。导流筒阻隔单晶炉体以及熔硅对晶体的热辐射,利于晶体散热,形成晶体生长所需的温度梯度,以提高晶体生长速度;引导由单晶炉顶从上向下吹的氟气集中地喷吹到固液界面附近,维持其清洁度,同时更加有利于晶体散热,加大晶体生长所需的温度梯度,以提高晶体生长速度;对高温硅熔体起保温作用,节约能源。


产品特点

1.低密度(1.35-1.5g/cm3);

2.纤维方向的热膨胀系数低,在高温情况不会变得很脆;

3.高抗热震性;

4.无热循环载荷下的压力

5.很好的抗蠕变性;

6.良好的化学稳定性

7.弯曲和拉伸强度好,导电性和热传导性的材料具有不同的值:

8.导热系数低;

9.耐冲刷,抗硅蒸汽腐蚀能力强。

密度
1.35~1.5g/cm³
拉伸强度
≥75MPa
压缩强度
≥120MPa
弯曲强度
≥120MPa
导热系统(1600℃)
10-12W/(m•K)
热膨胀系数(水平)
1~2x(10-6/k)
热膨胀系数(垂直)
6~8.5×(10-6/K)
灰分
<100或<200ppm
电阻率(R.T-1250℃)
25~50μΩ•m
热处理温度
≥2000℃
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