碳/碳加热器

  • 产品介绍
  • 理化指标

应用范围

用于高纯硅晶体生长,为晶体生长提供热量,局部温度可达2200C以上。


产品用途

作为进口石墨的替代产品,使用寿命长,为半导体、光伏晶体长时间生长提供保障。


产品特点

1.相对传统石墨加热器,碳/碳加热器抗热震性,抗热蠕变,抗热冲击性更佳;

2.相对传统石墨加热器,碳/碳加热器强度高,耐磨损,使用寿命长;

3.电阻不仅稳定,而且可以根据需求设计,可增加碳碳加热器内部的有效利用空间,拉晶热场单炉能耗更低。

密度
≥1.35g/m³
拉伸强度
≥60MPa
压缩强度
≥120MPa
弯曲强度
≥55MPa
导热系统(1600℃)
140W/(m•K)
热膨胀系数(水平)
≤2×10-6/K
热膨胀系数(垂直)
≤2×10-6/K
灰分
<100或<200ppm
电阻率(R.T-1250℃)
8~15μΩ•m
热处理温度
≥2000℃
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